快速真空退火爐應(yīng)用領(lǐng)域、系統(tǒng)組成及操作規(guī)程注意事項(xiàng)
快速真空退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域有離子注入/接觸退火；快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同氣體氛圍環(huán)境下使用；SiAu, SiAl, SiMo合金化；低介電材料；晶體化，致密化；太陽(yáng)能電池片鍵合；電阻燒結(jié)其他熱工藝需求等等...
快速真空退火爐的系統(tǒng)組成：
1.快速退火爐主要由爐體、爐膽、爐蓋及抽真空裝置和溫控系統(tǒng)組成。
2.爐體外殼由型鋼及鋼板焊接而成，內(nèi)用硅酸鋁耐火纖維模塊、超輕質(zhì)高鋁泡沫磚砌筑成爐膛。
3.波紋帶狀加熱元件通過(guò)高鋁瓷釘固定于爐襯棉上。
4.爐膛內(nèi)有一耐熱板密焊而成的爐膽，被處理工件安放在爐膽內(nèi)。
5.在爐蓋上裝有通風(fēng)機(jī)，用來(lái)強(qiáng)制氣流循環(huán)，以使?fàn)t內(nèi)溫度和氣體均勻。
6.爐蓋與爐膽口法蘭密封連接，爐蓋上連接真空裝置。
7.溫控系統(tǒng)采用PID可編程控制，具有超溫報(bào)警，故障自診斷等功能。
快速真空退火爐的操作規(guī)程及注意事項(xiàng)：
1. 爐子首次使用或長(zhǎng)時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
2. 爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象。
3. 冷爐使用時(shí)，由于爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過(guò)快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。
4. 定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
5. 爐子使用過(guò)一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。
6. 爐子在工作過(guò)程中，一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否準(zhǔn)確。
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